| NFYD84 |
Halvledartillväxt, 5 p
/Growth of Semiconductors/ |
||
|
Utbildningsområde: Naturvetenskap Ämnesgrupp: Fysik Nivå (A-D):D |
|||
|
Mål:
Efter uppfinningen av den bipolära transisitorn har halvledarindustrin gjotr enorma framsteg. Det krävs ac de flest av de halvledarmaterial som används för tillämpningar inom mkroelektronik och kraftelektronik, att de skall finnas tillgängliga i form av enkristallina material, både som bulkmaterial och epitaxiella filmer. Prestanada hos komponenterna beror till stor del på kvalitén av materialet som används. Målet med kursen är att ge en generell introduktion till fundamentala principer för tillväxt av halvledare med lämpliga egenskaper för tillverkning av komponeneter. Utöver detta kommer en del avancerade tillväxtstekniker att demonstreras och kursdeltagarna kommer att få en unik chans att kombinera teoretisk kunskap med praktisk tillämpning. |
|||
| Förkunskaper: (gäller studerande antagna till program som kursen ges inom, se 'För:' ovan) Termodynamik, Materiefysik (fasta tillståndetsfysik) OBS! Tillträdeskrav för icke programstudenter omfattar vanligen också tillträdeskrav för programmet och ev. tröskelkrav för progression inom programmet, eller motsvarande. |
|||
| Organisation: 20 h lektioner och två förberedelseuppgifter. Demonstrationer. Kursen ges på engelska. |
|||
| Kursinnehåll: - Elementära tillväxtprocesser, fasövergångar, kärnbildning för nya faser. - Tillväxtteorier, tillväxtmekanismer. - Drivkraft för tilväxt, övermättnad, underkylning. - Masstransport, molekulära flöden, diffusion och Stefanflöden, konvektion. - Kinetik, adsorption, desorption, ytdiffusion. - Relation mellan övermättnad, tillväxtmekanism och tillväxthastighet. - Transformationer gas-fast tillstånd, vätsketillstånd-fast tillstånd och olika tillväxttekniker, kapacitet och begränsningar. - Tillväxtrelaterade defekter. - Epitaxi. - Exempel från tillväxt av moderna halvledarmaterial- Si, GaAs, GaN och SiC. |
|||
| Kurslitteratur: A.W. Vere: Chrystal Growth-Principles and Progress (Plenum prtess, New York and London, 1987), Föreläsningsanteckningar. |
|||
| Examination: | |||
| TEN1 |
En skriftlig tentamen |
5 p |
|
Undervisningsspråk är Engelska.
Institution: IFM.
Studierektor: Magnus Boman
Examinator: Rositza Yakimova
Länk till kurshemsida på kursgivande institution
Ansvarig utbildningsnämnd: UNMN
Engelsk kursplan
Om inget annat anges ovan gäller betygsskala enligt avsnitt a8.5 i de gemensamma bestämmelserna.
Kursplanen gäller för 2002 enligt beslut av utbildningsnämnden i november 2001.
 |
||||||
| ||||||