studiehandbok@lith   Länk
 

Linköpings tekniska högskola

Länk
TNE068 Mikrochipteknologi och -tillverkning, 3 poäng
/Microchip Technology and Microchip Production/

För: NE4

Utbildningsområde: Teknik    Ämnesgrupp: Elektroteknik
Fördjupningsnivå: D

Mål:
Målet med kursen är att ge kursdeltgarna kunskap och förståelse i dels processer och metoder samt dels i diverse produktionstekniska ämnesområden relaterade till storskalig tillverkning av mikrochip.

Förkunskaper:
TPPE37 Produktionsstyrning, TFYY80 Halvledarteknik och TMQU22 Kvalitetsstyrning

Organisation:
Undervisning sker i form av föreläsningar, lektionsundervisning, grupparbete, studiebesök samt laboration. Stor vikt läggs vid att få en stark koppling till den industriella verkligheten genom studiebesök och gästföreläsningar.

Kursinnehåll:
Kursen har sitt fokus i modern chipproduktion. I kursen tas vanligt förekommande begrepp och företeelser inom modern industriell halvledarproduktion upp. Vidare tar kursen upp de vanligaste teknologierna, processbyggblocken och processtegen med tillhörande produktionsutustning. Exempel på chipteknologier är MOS, CMOS och BiCMOS. Exempel på processbyggblock är skapande av en metallkontakt, ett dopat skickt, ett isolerande skikt, en specifik geometri/ett mönster, en struktur. Exempel på processer är fotolitografi, joninplantation, diffusion, epitaxi, passivering(oxidering) och kontaktering(metallisering). Exempel på begrepp och företeelser relaterade till produktion är Cleanroom Engineering, Batch Production, Statistical Process Control, Logistics Simulation, Preventive Maintenance, Fab Control Systems (Manufacturing Execution Systems), Different Automation Concepts, Semiconductor Fab Design and Layout, Cylcletime-Yield Battling, Chip Cost Calculations, Environmental Impact form Chip Fabs, SEMI Standards and Future Fab Concepts.

Kurslitteratur:
Lärobok i Halvledarteknologi Kompletterande material delas ut vid vissa föreläsningar.

LAB1Obligatorisk laborationsuppgift, 1 p.
UPG1Muntlig och skriftlig redogörelse för grupparbete, 2 p.


Undervisningsspråk är Svenska.




Engelsk kursplan



Gäller 2001, beslut av utbildningsnämnden november 2000

 
 

Linköpings tekniska högskola

Länk


Informationsansvarig: Info-LiTH, info-lith@tfk.liu.se
Senast ändrad: