| TFYY33 | Mikrochipstillverkning, 3 poäng /Microchip fabrication/ För: Y4 | |
| Utbildningsområde: Naturvetenskap Ämnesgrupp: Fysik | ||
| Fördjupningsnivå: D | ||
| Mål: Det är en ingenjörskurs ska ge breda kunskaper inom området mikrochipstillverkningsteknik. Kursen omfattar fyra beståndsdelar, nämligen, startmaterialen; process flödessteg; processintegration och processimulering; samt chipsförpackning och chipsmoduler. Kursen syftar i fösta hand på Si-baserad teknologi, men den ska också ge en översikt av teknologi baserad på andra material som kan användas i komponentprocessning.Förkunskaper: Önskvärt, men ej krav, är att kurserna TFFY 34 Halvledarteknik och TFYY 39 Fasta tillståndets elektronik genomgåtts. Organisation: Kursen ges på engelska i form av föreläsningar, laborationer och ett industribesök. Kursinnehåll: Allmän introduktion; startmaterialen (kristalltillväxt och waferstillverkning, epi-lager tillväxt och Si på isolator (SOI) teknologi); process flödessteg (materialbehandling utnyttjande jon implantation och diffusion, snabb termisk process, mikromönster transfer, tunnfilmsteknologi och multipelskikt interconnects, och processteknologi för olika slags halvledare); process integration och processimulering för bipolär och CMOS teknologi; chipstillverkning (chipsförpackning och chipsmoduler, tillförlitlighet, tillverkningsaspekter); sammanfattning och utsikter för framtiden.Kurslitteratur: The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication, Stephen A. Campbell (Oxford University Press, New York, 1996). | ||
| TEN1 | Kursen avslutar med en praktisk processdesign uppgift och en muntlig tentamen, 2 p. | |
| LAB1 | En laborationskurs, 1 p. | |
Undervisningsspråk är Svenska.
Studierektor: Sven Stafström