TFYY07 Tunnfilmsfysik, 3,5 poäng
/Thin Film Physics/

För: Y4

Utbildningsområde: Naturvetenskap    Ämnesgrupp: Fysik
Fördjupningsnivå: D

Mål:
Kursen skall ge kunskaper om mekanismer och processer för framställning av tunna ytbeläggningar samt om egenskaper unika för dessa. Vidare ges en orientering över tillämpningar av tunna filmer inom t.ex. halvledar- och verkstadsindustrin.

Förkunskaper:
TFFY70 Materiefysik, inledande kurs (alternativt: TMKM04 Konstruktionsmaterial, grundkurs eller TMKM45 Konstruktionsmaterial I)

Organisation:
Kursen består av föreläsningar, laborationer och studiebesök.

Kursinnehåll:
Vakuumteknik, beläggningstekniker. Tillväxt, struktur, epitaxi, interdiffusion och reaktioner hos tunna filmer. Mekaniska, elektriska och optiska egenskaper samt tillämpningar utnyttjande dessa egenskaper. Nya tillämpningar, "forskningsfronten". I kursen ingår två laborationer samt ett studiebesök på ett företag som utnyttjar tunnfilmsteknik.

Kurslitteratur:
M. Ohring, The Materials Science of Thin Films, Academic Press, 1992, ISBN 0-12-524990-X

TEN1En skriftlig tentamen. Alternativa examinationsformer (seminarium, hemtenta) kan bli aktuella om intresse finnes., 3,5 p.
LAB1Obligatoriska laborationer., 0 p.
UPG1Obligatoriska studiebesök i industrin., 0 p.


Undervisningsspråk är engelska.

Studierektor: Sven Stafström
Examinator: Ulf Helmersson

Epostadress: ugh@ifm.liu.se

Engelsk kursplan



Gäller 2000, beslut av utbildningsnämnden november 1999