| TFYA41 |
Tunnfilmsfysik, 6 hp
/Thin Film Physics/
För:
MFYS
MSN
Y
|
| |
Prel. schemalagd
tid: 40
Rek. självstudietid: 120
|
| |
Utbildningsområde: Naturvetenskap
Huvudområde: Fysik, Teknisk fysik Nivå (G1,G2,A): A
|
| |
Mål:
IUAE-matris
Kursen ska ge kunskap om mekanismer och processer för syntes och tillväxt av tunna filmer framställda genom ångdeponering. En översikt av olika syntesmetoder för filmtillväxt samt industriella tillämpningar av dessa filmer är också inkluderade i kursen. Efter kursen ska studenten:
- förstå dem grundläggande atomistiska mekanismer och processer som kontrollerar tillväxt och mikrostrukturell utveckling hos tunna filmer.
- förstå inverkan av processförhållandena på tunnfilmstillväxten.
- ha kunskap om olika syntesmetoders principer, samt deras för- och nackdelar.
- känna till möjligheter och betydelsen av olika tunna filmer för en rad olika industriella tillämpningar.
|
| |
Förkunskaper: (gäller studerande antagna till program som kursen ges inom, se 'För:' ovan)
Grundläggande kunskaper i materialvetenskap, kristallografi, fasta tillståndets fysik och termodynamik
OBS! Tillträdeskrav för icke programstudenter omfattar vanligen också tillträdeskrav för programmet och ev. tröskelkrav för progression inom programmet, eller motsvarande.
|
| |
Organisation:
Kursen består av föreläsningar, laborationer och studiebesök.
|
| |
Kursinnehåll:
Kondensation och adsorption
Ytor och ytdiffusion
Epitaxi och olika tillväxtsätt
Nukleation och sammanslagning
Homo- och heteroepitaxiell tillväxt
Tillväxt och mikrostrukturell utveckling av polykristallina filmer
Spänningar i tunnfilmer
Beläggningsprocesser
|
| |
Kurslitteratur:
T. Michely, J. Krug, â?oIslands, Mounds and Atoms: Patterns and Processes in Crystal Growth Far from Equilibrium", Springer 2003.
P. M. Martin, â?oHandbook of Deposition Technologies for Films and Coatings", Elsevier 2010.
M. Ohring, â?oMaterials Science of Thin Films", Academic Press 1991.
Extramaterial tillgängligt på kurshemsidan (lösenordsskyddat)
|
| |
Examination: |
TENB
LABA
UPG1
PRA1
|
En skriftlig tentamen. (U,3,4,5)
Obligatoriska laborationer (U,G)
Obligatoriska studiebesök i industrin (U,G)
Studentpresentationer (U,G)
|
3 hp
0,5 hp
0,5 hp
2 hp
|
| |
|
Som en bonus kan studentpresentationerna (som inkluderar en skriftlig rapport) betygsättas och vägas in i slutbetyget för kursen. |
|