| TFYY36 |
Halvledartillväxt, 3 p
/Growth of Semiconductors/
För:
Fys
Y
YMP
|
| |
Prel. schemalagd
tid: 26
Rek. självstudietid: 94
|
| |
Utbildningsområde: Naturvetenskap
Ämnesgrupp: Fysik Nivå (A-D):D
|
| |
Mål:
Målet med kursen är att ge en generell introduktion till fundamentala principer för tillväxt av halvledare med lämpliga egenskaper för tillverkning av komponenter. Utöver detta kommer en del avancerade tillväxttekniker att demonstreras och kursdeltagarna kommer att få en unik chans att kombinera teoretisk kunskap med praktisk tillämpning. Kursen anknyter till den forskningsverksamhet inom halvledartillväxt som bedrivs vid institutionen för Fysik och Mätteknik i nära samarbete med svensk industri.
|
| |
Förkunskaper: (gäller studerande antagna till program som kursen ges inom, se 'För:' ovan) TFFY25 Termodynamik och statistisk mekanik, TFFY70 Materiefysik (Fasta tillståndets fysik)
OBS! Tillträdeskrav för icke programstudenter omfattar vanligen också tillträdeskrav för programmet och ev. tröskelkrav för progression inom programmet, eller motsvarande.
|
| |
Påbyggnadskurser Nya material
|
| |
Organisation: Kursen inkluderar 20 timmar föreläsning och 2 förberedelseuppgifter. Kursen ges på engelska. Avancerade tillväxttekniker kommer att demonstreras.
|
| |
Kursinnehåll: 1.Elementära tillväxtprocesser, fas övergångar, kärnbildning för nya faser.
2.Tillväxtteorier, tillväxtmekanismer
3.Drivkraft för tillväxt, övermättnad, underkylning
4.Masstransport, molekulära flöden, diffusion och Stefanflöde, konvektion
5.Kinetik, adsorption, desorption, ytdiffusion
6.Relation mellan övermättnad, tillväxtmekanism och tillväxthastighet
7.Transformationer gas-fast tillstånd, vätsketillstånd-fast tillstånd och olika tillväxttekniker - kapacitet och begränsningar
8.Tillväxtrelaterade defekter
9.Epitaxi
10.Exempel från tillväxt av moderna halvledarmaterial - Si, GaAs, GaN och SiC
|
| |
Kurslitteratur: Hans J. Sheel, Tsuguo Fukuda, Crystal growth technology. Chichester: Wiley, 2003 (ISBN 0-471-49524-7)
|
| |
Examination: |
TEN1
|
Skriftlig tentamen som i vissa fall efter överenskommelse kan bytas mot muntlig tentamen (U,3,4,5) |
3 p
|
| |
|
Examinationssättet ska bestämmas vid kursstart. |