| TFYY86 |
Mikrochipstillverkning, 3 p
/Microchip Fabrication/ |
||
|
Utbildningsområde: Teknik Ämnesgrupp: Fysik Nivå (A-D):D |
|||
|
Mål:
Det är en ingenjörskurs ska ge breda kunskaper inom området mikrochipstillverkningsteknik. Kursen omfattar fyra beståndsdelar, nämligen, startmaterialen; process flödessteg; processintegration och processimulering; samt chipsförpackning och chipsmoduler. Kursen syftar i fösta hand på Si-baserad teknologi, men den ska också ge en översikt av teknologi baserad på andra material som kan användas i komponentprocessning. |
|||
| Förkunskaper: (gäller studerande antagna till program som kursen ges inom, se 'För:' ovan) Önskvärt, men ej krav, är att TFFY 34 Halvledarteknik genomgåtts. OBS! Tillträdeskrav för icke programstudenter omfattar vanligen också tillträdeskrav för programmet och ev. tröskelkrav för progression inom programmet, eller motsvarande. |
|||
| Organisation: Kursen ges på engelska i form av föreläsningar, laborationer och ett industribesök. |
|||
| Kursinnehåll: Allmän introduktion; startmaterialen (kristalltillväxt och waferstillverkning, epi-lager tillväxt och Si på isolator (SOI) teknologi); process flödessteg (materialbehandling utnyttjande jon implantation och diffusion, snabb termisk process, mikromönster transfer, tunnfilmsteknologi och multipelskikt interconnects, och processteknologi för olika slags halvledare); process integration och processimulering för bipolär och CMOS teknologi; chipstillverkning (chipsförpackning och chipsmoduler, tillförlitlighet, tillverkningsaspekter); sammanfattning och utsikter för framtiden. |
|||
| Kurslitteratur: The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication, Stephen A. Campbell (Oxford University Press, New York, 1996). |
|||
| Examination: | |||
| TEN2 LAB2 |
Kursen avslutar med en praktisk processdesign uppgift och en muntlig tentamen En laborationskurs |
2,5 p 0,5 p |
|
Undervisningsspråk är Engelska.
Institution: IFM.
Studierektor: Göran Hansson
Examinator: Wei-Xin Ni
Ansvarig utbildningsnämnd: UNY
Engelsk kursplan
Om inget annat anges ovan gäller betygsskala enligt avsnitt a8.5 i de gemensamma bestämmelserna.
Kursplanen gäller för 2003.
 |
||||||
| ||||||