| TFYA41 |
Tunnfilmsfysik, 4 p
/
6 hp
/Thin Film Physics/
För:
Fys
MFYS
MPN
Y
|
| |
Prel. schemalagd
tid: 44
Rek. självstudietid: 116
|
| |
Utbildningsområde: Naturvetenskap
Ämnesgrupp: Fysik Nivå (A-D):D
Huvudområde: Fysik, Teknisk fysik Nivå (G1,G2,A): A
|
| |
Mål:
Kursen skall ge kunskaper om mekanismer och processer för framställning av tunna ytbeläggningar samt om egenskaper unika för dessa. Vidare ges en orientering över tillämpningar av tunna filmer inom t.ex. halvledar- och verkstadsindustrin. Studenten ska efter avslutad kurs:
- känna till hur vakuumsystem är uppbyggda och känna till olika vakuumkomponenters (främst pumpar) egenskaper
- kunna utföra enklare design av vakuumsystem
- kunna för och nackdelar med olika filmdeponeringsmetoder
- känna till kärnbildning och tillväxtmoders inverkan på ytbeläggningars mikrostruktur
- kunna diskutera för och nackdelar med olika metoder för analys av ytbeläggningar
- ha insikt i möjligheter och vikten av olika ytbeläggningar inom olika industriella områden
|
| |
Förkunskaper: (gäller studerande antagna till program som kursen ges inom, se 'För:' ovan) Motsvarande grundkurser i materiefysik, materialfysik eller konstruktionsmaterial. Gärna kunskap om kristallstrukturer och defekter.
OBS! Tillträdeskrav för icke programstudenter omfattar vanligen också tillträdeskrav för programmet och ev. tröskelkrav för progression inom programmet, eller motsvarande.
|
| |
Organisation: Kursen består av föreläsningar, laborationer och studiebesök.
|
| |
Kursinnehåll: Vakuumteknik, beläggningstekniker. Ttillväxt, struktur, epitaxi, interdiffusion och reaktioner hos tunna filmer. Mekaniska, elektriska och optiska egenskaper samt tillämpningar utnyttjande dessa egenskaper. Nya tillämpningar, "forskningsfronten". I kursen ingår två till tre laborationer samt ett studiebesök på ett företag som utnyttjar tunnfilmsteknik.
|
| |
Kurslitteratur: M. Ohring, The Materials Science of Thin Films, Second edition, Academic Press, 2002, ISBN 0-12-524975-6
|
| |
Examination: |
TENA LABA UPG1
|
En skriftlig tentamen. (U,3,4,5) Obligatoriska laborationer (U,G) Obligatoriska studiebesök i industrin (U,G) |
5 hp 0,5 hp 0,5 hp
|
| |
|
Alternativa examinationsformer (seminarium, hemtenta) kan bli aktuella om intresse finnes. |
|